[릴레이탐방 - 수소전문기업을 찾아서] ㊴ (주)이너센서, 넥쏘부터 방산까지···MEMS 수소·압력센서로 글로벌시장 노린다

[가스신문 = 한상원 기자] 반도체 MEMS(micro-electromechanical systems) 센서는 반도체 기술을 활용하고 설계 기술이 비슷하지만, 표준 반도체 라인에서는 센서 개발에 많은 제약 사항이 존재한다.하나의 새로운 센서 개발을 위해 신물질을 표준 반도체 공정에 적용하게 되면 반도체 소자의 신뢰성과 공정장비 오염 등의 문제가 발생되기 때문이다. 그러므로 반도체는 반도체만의 가야 할 길이 존재하고, MEMS 센서도 동일하다.지난 2024년, 포항시 1호 수소전문기업으로 선정된 이너센서는 세계 최초로 방산용 Air